电子工程系

Department of Electronic Engineering

        清华大学集成光电子实验室作为集成光电子学国家重点联合实验室的一部分,组建于1987年,并于1991年1月通过验收、正式运行并对外开放。经过十几年来的建设,现已成长为国内从事光电子材料与器件及其在光纤通信与网络中的应用技术的主要研究基地,在许多重要的研究领域取得了突出成果,产生了一定的国际影响,为研究单位和企业界培养了大量研究人才。

        重点研究基于半导体光电子材料、低维纳米结构材料和石英光纤的各种新型光电子器件以及集成器件,研究上述器件在光纤通信系统与网络、信息处理与平板显示系统中的应用技术,以及基于上述器件的未来高速、宽带光纤通讯与网络技术。

        部分大型设备:

    分子束外延系统(MBE)
    金属有机物化学气相外延系统(MOVPE)
    PECVD介质膜淀积设备和ICP干法刻蚀设备
    光致荧光测量系统
    高分辨率X射线衍射仪
    全息曝光系统、接触式曝光设备
    高真空溅射设备
    微波探针台
    半导体激光器测试系统
    光谱分析仪
    矢量网络分析仪